原子間力顕微鏡機能を追加することによりラマン分光のみでは得られなかった高解像度のトポグラフィーなど更に詳細な情報 を得ることが出来ます。alpha300Rでは試料を動かすことなくターレットの切替のみでラマン分光イメージから原子間力顕微鏡へと 切替が簡単。またラマン分光で得られたイメージと原子間力顕微鏡で得られたイメージの試料位置の相関が保たれており 試料上の特定の欠陥などを両方のイメージで比較することも可能です。

各機能をモジュラー化することで、原子間力顕微鏡機能の追加ではWITec社のalpha300A原子間力顕微鏡と同等の機能を持っています。 また共通のソフトウェアで操作されているため操作性を損なうことがありません。