プラズマ光・分光・イメージング・発光・スペクトル・トモグラフィー・温度【株式会社ルシール】

プラズマ光のイメージング及び分光分析を行うシステムです。プラズマ内のラジカルや原子の発光分析を行う事により、プロセスの管理が可能となります。
2種類の発光スペクトルから温度を計測する事も可能です。また、プラズマ内の原子の分布計測をトモグラフィー処理する事も可能です。