レーザー誘起ブレークダウン計測システム

レーザー誘起されたサンプルの元素種の定性分析ができます。ご要望に応じ、定量分析や顕微計測に発展させる事が可能です。パルスYAGレーザからなる励起装置と、分光器、電子冷却ＣＣＤ検出器からなる計測装置にて構成されます。
 
シグナル受光の角度が可変に出来るマクロ光学系を用いたLIBSシステム例。
 
 
モニターカメラを用いてサンプル表面の観察を行いながらシグナルの取り込みが可能です。
 
最小レーザースポット径
φ600ミクロン(実測値)
実サンプル上のレーザースポット痕
赤□は3mm角